Anaerobik fırınlar olarak da adlandırılan İnert Atmosferli Fırınlar, sızdırmazlık ortamında nitrojen gibi oksitleyici olmayan gazlar kullanılarak ısıl işlem için tasarlanmıştır, düşük oksijen konsantrasyonlu atmosfer altında ısıl işlem için uygundur.
Tanım
İnert Atmosfer Fırın serisi, yarı iletken üretiminde silikon gofretlerin, galyum arsenitin, lityum niyobatın, PR kaplamadan önce camın, PR kaplamadan sonra sert film pişirmenin ve geliştirmeden sonra yüksek sıcaklıkta pişirmenin ön işlemi için kullanılır; Ayrıca elektronik sıvı kristal ekran, LCD, CMOS, IS ve laboratuvarlar gibi üretim ve bilimsel araştırma departmanları için de uygundur; uçucu olmayan, yanıcı olmayan ve patlayıcı olmayan maddelerin kurutulması, ısıl işlemi, yaşlandırılması ve diğer yüksek sıcaklık testleri için de kullanılabilir.
Ana Parametreler
►Teknik parametreler
Kapasite: Ürünlere göre özelleştirilmiş
Sıcaklık Aralığı: Ortam+50°C ~ 250°C
Oksijen İçeriği: ≤50ppm
Sıcaklık Eşitliği: ±%2,5
Artış Hızı: Kontrol Edilebilir
Azot Girişi: Φ8
Azot akışı: 0-240L/dak * 2 kanal
►Yapı
. İç fırın: Paslanmaz çelikten yapılmış ve argon gazı ile dikişsiz kaynak yapılmıştır.
. Hermetik olarak kapatılmış: Oda, oksijen seviyelerini azaltmak için kapatılmıştır.
. Hava giriş yapısı: Oksitleyici olmayan gazların hazneyi doldurmasını sağlar.
. O2 analizörü: Oksijen seviyelerini %0,5~ 21 arasında hassas bir şekilde ayarlayın
► Sıcaklık kontrol sistemi
Akıllı JAPONYA RKC sıcaklık kontrol cihazı, programlar ve sabit değer ayarı, AT otomatik ayarlama, ofset düzeltme ve kapanmada tutma.
► Zorunlu hava taşınımı
Sıcak hava sirkülasyon sistemindeki patentli hava kanalı, sıcaklık eşitliğini otomatik olarak ayarlayabilmektedir.
Anaerobik (İnert) fırınlara yönelik özellikler
► Dış atmosferin girişini önlemek için hermetik olarak kapatılmış paslanmaz çelik stüdyo
► Anaerobik ısıl işlem için nitrojen inert gazı kullanın
► Akış ölçer ve basınç göstergesi donatılmıştır
► Çoklu koruma güvenlik cihazları
Seçenekler
► PLC+7” programlanabilir kontrolör
► Üç renkli yanıp sönen ışık alarmı
► Aşırı sıcaklık sınırlayıcı
► Manuel güvenlik cihazları
Neden İnert Atmosferli Fırınları seçmelisiniz?
Günümüzde devrelerdeki kablolama malzemeleri alüminyumdan daha düşük dirençli bakıra kaymıştır. Bu nedenle normal kurutma fırınında ısıl işlem uygulandığında bakır parçalar oksitlenerek kusurlara neden olabilir. Ayrıca 250°C yaşlandırma yapılarak flash belleğe yazılan verilerin elektromigrasyon nedeniyle silinip silinmediği, çarpma kısımlarının oksitlenip oksitlenmediği kontrol edilir, bu nedenle oksijen içeriğinin <100ppm'e düşürülmesi gerekir. Bu anaerobik fırın bu talepleri karşılamak için geliştirildi.
Başvuru
İnert Atmosfer Fırınları temel olarak BPO tutkal/PI tutkal/BCB tutkal kürleme, IC (wafer, CMOS, Bumping, TSV, MENS), FPD, yüksek hassasiyetli elektronik bileşenler ve düşük oksijen ortamındaki diğer malzemeler için kurutma ve eskitme testleri için kullanılır. .
